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半導(dǎo)體晶硅行業(yè)用的氮化硅原材料在加工的過(guò)程中會(huì)排放出含有氮化物、氟等的污染物，因有著耐火、耐腐蝕等的特性現(xiàn)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中，而隨著電子半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，晶硅氮化硅工業(yè)廢水的廢水量也越來(lái)越多，對(duì)于晶硅脫氮除氟廢水處理應(yīng)該怎么處理呢?
半導(dǎo)體晶硅工業(yè)廢水中的氮以及氟化合物在經(jīng)過(guò)處理之后是可以進(jìn)行回收重新利用的，電子產(chǎn)品加工的過(guò)程中主要會(huì)產(chǎn)生兩類的工業(yè)廢水，一類的酸性，主要來(lái)源于廢酸液和廢堿液，其含氟離子和硝態(tài)氮較高，另一類廢水pH值接近中性，其含氟離子量較低但水量大。
宏森環(huán)保主要采用晶硅廢水超濾處理+反滲透系統(tǒng)處理，然后將分離開(kāi)來(lái)的廢水再分別進(jìn)行處理，最后達(dá)到回收部分可利用資源，降低處理成本。
將晶硅廢水運(yùn)送至半導(dǎo)體晶硅廢水處理設(shè)備進(jìn)行超濾+反滲透系統(tǒng)處理可以分離出含氟含硝態(tài)氮濃水和清水，將分離出來(lái)的含氟含硝廢水和強(qiáng)酸性高氟廢水進(jìn)行混合，廢水在混合之后進(jìn)入一級(jí)沉淀除氟池，往廢水處理設(shè)備中加入化學(xué)藥劑，反應(yīng)生成后的氟化鈣沉淀作為泥渣進(jìn)行去除，接著將廢水中的上清液導(dǎo)入反硝化池。
在反硝化池中是可以將細(xì)菌進(jìn)行生化脫氮，然后將處理后的廢水導(dǎo)入二級(jí)沉淀除氟池，接著二級(jí)的沉淀除氟池可以使得氟離子形成氟化鈣沉淀而除去，最后晶硅廢水達(dá)到了脫氮除氟的目的，廢水達(dá)標(biāo)后即可排放。
